随着微电子技术的发展，XPS也在不断完善，目前，已开发出的小面积X射线光电子能谱，大大提高了XPS的空间分辨能力。通过对样品进行全扫描，在一次测定中即可检测出全部或大部分元素。因此，XPS已发展成为具有表面元素分析、化学态和能带结构分析以及微区化学态成像分析等功能强大的表面分析仪器。X射线光电子能谱的理论依据就是爱因斯坦的光电子发散公式。...
随着微电子技术的发展，XPS也在不断完善，目前，已开发出的小面积X射线光电子能谱，大大提高了XPS的空间分辨能力。通过对样品进行全扫描，在一次测定中即可检测出全部或大部分元素。因此，XPS已发展成为具有表面元素分析、化学态和能带结构分析以及微区化学态成像分析等功能强大的表面分析仪器。X射线光电子能谱的理论依据就是爱因斯坦的光电子发散公式。...
技术指标 X射线光电子能谱（XPS），可使用单色化Al靶X射线源及双阳极Al/Mg靶X射线源，包括大面积XPS（0.8×2 mm），微区XPS（最小选区15 μm）、深度剖析XPS及XPS成像，空间分辨率＜3 μm；场发射俄歇电子能谱（AES），包括深度剖析AES；扫描俄歇显微成像（SAM）；紫外光电子能谱（UPS）等。 主要功能 主要用于固体样品表面的组成、化学状态分析。...
原子中的内层电子或价电子吸收能量足够大的光子后，会离开原子成为光电子，根据测定发射出来的光电子的特征能量，可定性地确定样品表面上存在的元素，把未知样品光电子能谱和已知的表面组分标准样品的光电子能谱进行对比，或者和一系列相应的纯元素光电子能谱进行对比，即可对样品表面的组分进行定量成分分析。2、俄歇电子能谱高速电子打到材料表面，除产生X射线外，还会激发出俄歇电子等。...
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