点击蓝字 / 关注我们涡轮分子泵涡轮分子泵的来源 01分子涡轮泵是质谱的心脏部件,它的运行情况直接关系到仪器的灵敏度,我们来看下涡轮分子泵的知识。1958年,德意志联邦共和国的W. Baker首先提出了具有应用价值的涡轮分子泵,随后相继提出了各种不同结构的分子泵,主要是立式和卧式。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统组成。...
分子泵是高真空和超高真空获得设备,是中科科仪主要产品之一。自 1977 年第一台立式涡轮分子泵诞生以来, 经过几代人不懈努力,已形成不同口径系列产品、不同功能系列产品和不同洁净程度系列产品。分子泵产量由起初年产几十台发展到年产数千台,为国家科研、生产等真空应用领域做出了巨大贡献。中科科仪是国内分子泵技术引领者和标准起草者,是国内分子泵最大生产供应商。...
涡轮分子泵是市场上品质和性能最好的泵,是每个现代实验室的基本设备之一。普发真空的现任研发负责人 Armin Conrad 深谙这项发明所具有的划时代意义,并在采访中解释了涡轮分子泵之所以重要的原因。Conrad先生,请问涡轮分子泵是在什么样背景下诞生的,在它之前人们都适用哪些真空设备进行生产和研究?Armin Conrad: 在涡轮分子泵发明前,工业上主要使用油泵制造真空。...
中科科仪副总经理余才林在展台迎接并做介绍,在真空技术领域,中科科仪拥有四十余年的技术积淀,自七十年代研制我国第一台立式涡轮分子泵以来,坚持需求牵引、创新驱动,面对半导体领域“卡脖子”问题,研制了集成电路制造装备的关键核心零部件——磁悬浮分子泵,目前已推出面向半导体和工业两个应用方向覆盖标准系列、高温系列、分体系列等多个产品线共计二十余款产品,广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入、分子束外延、异质结光伏...
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