SJ/T 11085-1996
立式涡轮分子泵通用技术条件
General specifications for vertical turbomolecular pumps
SJT11085-1996, SJ11085-1996
- 标准号
- SJ/T 11085-1996
- 别名
- SJT11085-1996, SJ11085-1996
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11085-1996
- 被代替标准
- GB 11491-1989
SJ/T 11085-1996相似标准
推荐
涡轮分子泵
点击蓝字 / 关注我们涡轮分子泵涡轮分子泵的来源 01分子涡轮泵是质谱的心脏部件，它的运行情况直接关系到仪器的灵敏度，我们来看下涡轮分子泵的知识。1958年，德意志联邦共和国的W. Baker首先提出了具有应用价值的涡轮分子泵，随后相继提出了各种不同结构的分子泵，主要是立式和卧式。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统组成。...
【锲而不舍，“泵”技可展 】记中科科仪分子泵发展历程
分子泵是高真空和超高真空获得设备，是中科科仪主要产品之一。自 1977 年第一台立式涡轮分子泵诞生以来， 经过几代人不懈努力，已形成不同口径系列产品、不同功能系列产品和不同洁净程度系列产品。分子泵产量由起初年产几十台发展到年产数千台，为国家科研、生产等真空应用领域做出了巨大贡献。中科科仪是国内分子泵技术引领者和标准起草者，是国内分子泵最大生产供应商。...
真空炉的结构及选择
抽真空系统有离子泵+涡轮分子泵+机械泵、涡轮分子泵+机械泵、扩散泵+罗茨泵+机械泵、罗茨泵+机械泵、低温冷凝泵+机械泵等几种类型，根据极限真空度指标选择(真空炉)。 ...
以匠心，铸品质丨中科科仪携多款创新产品领衔亮相第十七届国际真空展
中科科仪副总经理余才林在展台迎接并做介绍，在真空技术领域，中科科仪拥有四十余年的技术积淀，自七十年代研制我国第一台立式涡轮分子泵以来，坚持需求牵引、创新驱动，面对半导体领域“卡脖子”问题，研制了集成电路制造装备的关键核心零部件——磁悬浮分子泵，目前已推出面向半导体和工业两个应用方向覆盖标准系列、高温系列、分体系列等多个产品线共计二十余款产品，广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入、分子束外延、异质结光伏...