JB/T 8945-1999
真空溅射镀膜设备
Vacuum sputtering coating plant
JBT8945-1999, JB8945-1999
- 标准号
- JB/T 8945-1999
- 别名
- JBT8945-1999
JB8945-1999 - 发布
- 1999年
- 发布单位
- 行业标准-机械
- 替代标准
- JB/T 8945-2010
- 当前最新
- JB/T 8945-2010
- 本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数，技术要求，试验方法，榆验规则，标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10^(-4)～5×10^(-3)Pa范围的真空贱射镀膜设备。
JB/T 8945-1999相似标准
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