JB/T 8945-2010
真空溅射镀膜设备
Vacuum sputtering coating plant
JBT8945-2010, JB8945-2010
- 标准号
- JB/T 8945-2010
- 别名
- JBT8945-2010, JB8945-2010
- 发布
- 2010年
- 发布单位
- 行业标准-机械
- 当前最新
- JB/T 8945-2010
- 引用标准
- GB/T 11164-1999 GB/T 13306 GB/T 191 GB/T 6070 JB/T 1090 JB/T 1091 JB/T 1092 JB/T 7673
- 被代替标准
- JB/T 8945-1999
- 适用范围
- 本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于压力在1×10
Pa～1×10 pa范围的真空溅射镀膜设备。
JB/T 8945-2010相似标准
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