JB/T 5630-1991
半导体器件扩散炉 能耗分等
Diffusion furnace for semiconductor devices. Grading of energy consumption
JB/T 5630-1991 发布历史
JB/T 5630-1991由行业标准-机械 CN-JB 发布于 。
JB/T 5630-1991 在中国标准分类中归属于: J01 技术管理，在国际标准分类中归属于: 21-010 机械系统和通用件综合。
JB/T 5630-1991的历代版本如下：
- JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉 能耗分等
