JB/T 5630-1991
半导体器件扩散炉 能耗分等
Diffusion furnace for semiconductor devices. Grading of energy consumption
JBT5630-1991, JB5630-1991
- 标准号
- JB/T 5630-1991
- 别名
- JBT5630-1991, JB5630-1991
- 发布
- 1992年
- 发布单位
- 行业标准-机械
- 当前最新
- JB/T 5630-1991
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