JB/T 4081-1991
溅射离子泵.型式与基本参数已作废

标准号

JB/T 4081-1991

发布日期

1991年07月22日

实施日期

1992年07月01日

废止日期

2012-04-01

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23

发布单位

CN-JB

代替标准

JB/T 4081-2011

适用范围

　　本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 　　本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。