JB/T 4081-1991
溅射离子泵 型式与基本参数
Sputtering ion pump type and basic parameters
JBT4081-1991, JB4081-1991
2012-04
- 标准号
- JB/T 4081-1991
- 别名
- JBT4081-1991, JB4081-1991
- 发布
- 1991年
- 发布单位
- 行业标准-机械
- 替代标准
- JB/T 4081-2011
- 当前最新
- JB/T 4081-2011
- 适用范围
- 本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。
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