ISO 25178-603:2013
产品几何技术规范(GPS) 表面纹理 平面 第603部分 非接触(相移干涉计的显微检查)仪器标称特征
Geometrical product specifications (GPS).Surface texture: Areal.Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
- 标准号
- ISO 25178-603:2013
- 发布
- 2013年
- 中文版
- GB/T 33523.603-2022 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 25178-603:2013
- 适用范围
- ISO 25178 的这一部分描述了相移干涉 (PSI) 轮廓和面表面纹理测量显微镜的计量特性。
ISO 25178-603:2013相似标准
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