接下来,必须确定所需的工作压力pWork,以便继续建造一个真空室。前级泵,最高可达10-3mbar,抽出体积后,具有适当抽气能力的高或超高真空泵提供工作压力。为此,有必要计算或至少估计由解吸、渗透、泄漏和工艺气体产生的气体负荷。 下面将解释不同的气体负荷Qi是如何被影响的。它们与泵的有效吸力Seff相对应,这取决于气体、压力和安装类型。pEnd泵的最终压力,取决于泵的选择。...
真空设备产品可分为五大类:(1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。A、机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。B、蒸汽流真空泵:水蒸气喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。C、气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。D、真空机组:即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。...
6、有专门的油雾过滤装置,可消除排气油雾污染,不喷油、不漏油。2XZ型旋片式真空泵用途和使用范围:1、该泵是直联力油浸式机械真空泵,是用来对密封容器抽除气体获得真空真空环境的基本设备。它可以单独直接使用,也可用作罗茨泵、扩散泵、分子泵的前级泵和预抽泵,组成真空机组共同对容器抽气,达到超高真空的目的。...
6、有专门的油雾过滤装置,可消除排气油雾污染,不喷油、不漏油。2XZ小型旋片真空泵使用范围。1、该泵是直联高效力油浸式机械真空泵,是用来对密封容器抽除气体获得真空真空环境的基本设备。它可以单独直接使用,也可用作罗茨泵、扩散泵、分子泵的前级泵和预抽泵,组成真空机组共同对容器抽气,达到超高真空的目的。...
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