接下来,必须确定所需的工作压力pWork,以便继续建造一个真空室。前级泵,最高可达10-3mbar,抽出体积后,具有适当抽气能力的高或超高真空泵提供工作压力。为此,有必要计算或至少估计由解吸、渗透、泄漏和工艺气体产生的气体负荷。 下面将解释不同的气体负荷Qi是如何被影响的。它们与泵的有效吸力Seff相对应,这取决于气体、压力和安装类型。pEnd泵的最终压力,取决于泵的选择。...
6、有专门的油雾过滤装置,可消除排气油雾污染,不喷油、不漏油。2XZ型旋片式真空泵用途和使用范围:1、该泵是直联力油浸式机械真空泵,是用来对密封容器抽除气体获得真空真空环境的基本设备。它可以单独直接使用,也可用作罗茨泵、扩散泵、分子泵的前级泵和预抽泵,组成真空机组共同对容器抽气,达到超高真空的目的。...
6、有专门的油雾过滤装置,可消除排气油雾污染,不喷油、不漏油。2XZ小型旋片真空泵使用范围。1、该泵是直联高效力油浸式机械真空泵,是用来对密封容器抽除气体获得真空真空环境的基本设备。它可以单独直接使用,也可用作罗茨泵、扩散泵、分子泵的前级泵和预抽泵,组成真空机组共同对容器抽气,达到超高真空的目的。...
,其主要成分为有机物,镀膜的靶材大多为氧化物,在整个工艺过程中,一些有机物的杂质或者靶材粉尘随着真空管道沉积在扩散泵油中,在高温加热的条件下,油体会发生裂解,严重影响油体的物理化学性能,随着时间的延长,会影响扩散泵的真空性能,进而影响光学镜片的成膜质量和产量。...
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