T/CSTM 00537-2021
微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法
Phase transition temperature measurement of micro-nano thin film -Optical power analysis
- 标准号
- T/CSTM 00537-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CSTM 00537-2021
- 适用范围
- 本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。 本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试，薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行。
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