EN ISO 23131:2022
椭偏测量原理

Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)

2023-05

 

 

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标准号
EN ISO 23131:2022
发布
2022年
发布单位
欧洲标准化委员会
当前最新
EN ISO 23131:2022
 
 
适用范围
本文件规定了通过认可的测试实验室确定紫外-可见-近红外光谱范围内的光学和介电常数以及在线生产控制、质量保证和材料开发领域的层厚度的方法。 它适用于独立的测量系统。 结果不确定度的表示符合ISO/IEC Guide 98-3。

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