JB/T 10439-2004
单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method
JBT10439-2004, JB10439-2004
- 标准号
- JB/T 10439-2004
- 别名
- JBT10439-2004, JB10439-2004
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 行业标准-机械
- 当前最新
- JB/T 10439-2004
- 适用范围
- 本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。 本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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