GB/T 10067.410-2014
电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉
Basic specifications for electroheat installations.Part 410: Single crystal growing furnace
GBT10067.410-2014, GB10067.410-2014
- 标准号
- GB/T 10067.410-2014
- 别名
- GBT10067.410-2014, GB10067.410-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 10067.410-2014
- 引用标准
- GB 12348-2008 GB 150-2011 GB 16297-1996 GB 3095-2012 GB 8702-1998 GB 8978-1996 GB/T 10066.1-2004 GB/T 10066.4-2004 GB/T 10067.1-2005 GB/T 10067.4-2005 GB/T 2900.23-2008 JB/T 9691-1999
- 适用范围
- GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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