GB/T 38614-2020
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
GBT38614-2020, GB38614-2020
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- 标准号
- GB/T 38614-2020
- 别名
- GBT38614-2020
GB38614-2020 - 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 38614-2020
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