SJ 3237-1989
电子级氩中痕量氧的测定方法.氩离子化气相色谱法
Method for determination of trace oxygen in electronic grade Argon--Argon ionization gas chromatography method
2010-02
- 标准号
- SJ 3237-1989
- 发布
- 1989年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 3237-1989
- 适用范围
- 本标准适用于电子级氩气中痕量氧的测定。当进样量为3m1时。其测定范围为0.2～10ppm。
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