SJ 3243-1989
磷化铟单晶棒及片

Indium phosphide single-crystal bar and wafers

说明：

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SJ 3243-1989

标准号
SJ 3243-1989
发布日期
1989年03月20日
实施日期
1989年03月25日
废止日期
2010-02-25
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了液封直拉法(LEC)生长的磷化铟单晶棒、片的牌号命名方法、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于制造光电器件、微波器件、集成电路衬底用的液封直拉磷化铟单晶棒、片。

SJ 3243-1989 中可能用到的仪器设备

X射线衍射仪(XRD)


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