SJ/T 11829.1-2022
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备
Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) equipment for crystalline silicon photovoltaic cells Part 1: Tubular PECVD equipment
SJT11829.1-2022, SJ11829.1-2022
- 标准号
- SJ/T 11829.1-2022
- 别名
- SJT11829.1-2022
SJ11829.1-2022 - 发布
- 2022年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11829.1-2022
SJ/T 11829.1-2022相似标准
推荐
Sci：一种有望应用于未来电子领域的高效率和高开路电压的四结硅薄膜太阳能电池
【小结】这项工作中，研究人员用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺成功制备出四结硅基薄膜太阳能电池，并且证明这种太阳能电池具有高达3.0V的光电压和15.03%的效率。这一研究丰富了功能性光电子器件中的器件库，并可为可穿戴便携式和可控制的家用电子设备供电，扩充了太阳能电池的应用领域。...
国家光伏装备工程技术研究中心组建成效显著
研制出高效多晶硅铸锭炉、全自动视觉定位丝网印刷装备、全自动电池片测试分选装备、高产能全自动四管扩散炉装备和高产能全自动四管等离子体增强化学气相淀积(PECVD)装备，并均实现技术成果转化。此外，中心还建有一条年产6000台套大型装备装配流水线。...
半导体专业术语含义
等离子体增强化学气相淀积PEL 允许曝露极限值pellicle 贴膜pentavalent 五价元素perform vt. ...
Protoflex公司总裁莅临铂悦仪器拜访考察
Protoflex公司总裁和铂悦仪器总经理合影 Protoflex公司总裁和铂悦仪器销售与服务团队合影 美国Proto Flex公司PECVD(等离子增强化学气相沉积)系统能够沉积高质量SiN、SiO、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、非晶硅、碳化硅、太阳能材料、类金刚石、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等多种薄膜材料和炭纳米管（CNT）等。...