研制出高效多晶硅铸锭炉、全自动视觉定位丝网印刷装备、全自动电池片测试分选装备、高产能全自动四管扩散炉装备和高产能全自动四管等离子体增强化学气相淀积(PECVD)装备,并均实现技术成果转化。此外,中心还建有一条年产6000台套大型装备装配流水线。...
Protoflex公司总裁和铂悦仪器总经理合影 Protoflex公司总裁和铂悦仪器销售与服务团队合影 美国Proto Flex公司PECVD(等离子增强化学气相沉积)系统能够沉积高质量SiN、SiO、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、非晶硅、碳化硅、太阳能材料、类金刚石、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等多种薄膜材料和炭纳米管(CNT)等。...
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