C.2 大于5μm粒子(大粒子)———M 描述符 C.2.1 应用 如果要评定大于5μm 的粒子造成的污染风险,宜采用适合于这类粒子具体特性的采样装置和测量程序。 阈值粒径分布在5μm~20μm 的悬浮粒子浓度的测量,可在三种规定状态(空态、静态和动态)下进行。 空气悬浮粒子总体中的大粒子主要是工艺环境中释放出的粒子。宜根据具体的应用情况来确定适用的采样装置和测量程序。...
近日,国家标准委发布了 GB/T 25915.2-2021 《洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测》,文件将于 2022 年 3 月 1 日实施。文件对洁净室监测计划、风险评估以及悬浮粒子数、压差、风速等参数的监测给出了指导,此外,文件还给出了对压差和悬浮粒子制定预警值(警戒限)和干预值(行动限)时的考虑和方法。全文如下:1 范围本文件规定了监测计划的基本要求。...
9.容许限Permitted Limit,PL对某一定量特性规定和要求的物质限值,如:最大残留限、最高允许浓度或其它最大容许量等。...
9.容许限Permitted Limit,PL对某一定量特性规定和要求的物质限值,如:最大残留限、最高允许浓度或其它最大容许量等。 ...
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