SJ 20714-1998
砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法

Test method for sub-surface damege of gallium arsenide polished wafer by X-ray double crystal diffraction

标准号

SJ 20714-1998

发布日期

1998年03月18日

实施日期

1998年05月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法。 本标准适用于经过化学、机械单面和双面抛光的砷化镓晶片亚损伤层的定性测量。

SJ 20714-1998 中可能用到的仪器设备