SJ 20714-1998
砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法
Test method for sub-surface damege of gallium arsenide polished wafer by X-ray double crystal diffraction
- 标准号
- SJ 20714-1998
- 发布
- 1998年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 20714-1998
- 适用范围
- 本标准规定了砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法。 本标准适用于经过化学、机械单面和双面抛光的砷化镓晶片亚损伤层的定性测量。