SJ/T 31069-1994
PRS-801型等离子去胶机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for PRS-801 plasma degumming machines
SJT31069-1994, SJ31069-1994
2010-02
- 标准号
- SJ/T 31069-1994
- 别名
- SJT31069-1994, SJ31069-1994
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31069-1994
- 适用范围
- 本标准规定了半导体器件集成电路生产用等离子去胶机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于PRS-801型等离子去胶机。