SJ/T 31100-1994
离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ion beam etching machines
SJT31100-1994, SJ31100-1994
- 标准号
- SJ/T 31100-1994
- 别名
- SJT31100-1994, SJ31100-1994
- 发布
- 1994年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31100-1994
- 适用范围
- 本标准规定子半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。