SJ/T 11181-1998
净化涂胶台通用规范
General specifications for resist-coating stages with purified rooms
SJT11181-1998, SJ11181-1998
- 标准号
- SJ/T 11181-1998
- 别名
- SJT11181-1998, SJ11181-1998
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11181-1998
- 适用范围
- 本标准规定了净化涂胶台的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备，其它类型的涂胶设备也可参照使用。