VDI 2083 Blatt 4-1996
洁净室技术 表面洁净度
Reinraumtechnik - Oberflaechenreinheit
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 4-1996
- 发布
- 1996年
- 发布单位
- VDI - Verein Deutscher Ingenieure
- 替代标准
- VDI 2083 Blatt 9.1-2006
- VDI 2083 Blatt 5.1-2007
- 当前最新
- VDI 2083 Blatt 9.1-2006
- VDI 2083 Blatt 5.1-2007
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