SJ/T 31079-1994
正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for negative/positive resist developers and spin coaters


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标准号
SJ/T 31079-1994
发布日期
实施日期
废止日期
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31-550
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了正胶显影机、负胶显影机、匀胶机和擦片机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于半导体集成电路、晶体管生产中,硅片正性胶显影的正胶显影机、负性胶显影的负胶显影机、硅片涂胶自动匀胶机和自动擦片机。




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