SJ/T 31079-1994
正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for negative/positive resist developers and spin coaters
SJT31079-1994, SJ31079-1994
- 标准号
- SJ/T 31079-1994
- 别名
- SJT31079-1994
SJ31079-1994 - 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31079-1994
- 本标准规定了正胶显影机、负胶显影机、匀胶机和擦片机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于半导体集成电路、晶体管生产中，硅片正性胶显影的正胶显影机、负性胶显影的负胶显影机、硅片涂胶自动匀胶机和自动擦片机。
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