SJ/T 10311-1992
低压化学气相淀积设备通用技术条件
Generic specification of low Pressure Chemical vapor Deposition system
SJT10311-1992, SJ10311-1992
- 标准号
- SJ/T 10311-1992
- 别名
- SJT10311-1992, SJ10311-1992
- 发布
- 1992年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 10311-1992
- 适用范围
- 本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。
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