SJ/T 31108-1994
CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for CG3000 mono-crystal furnaces

SJT31108-1994, SJ31108-1994

2010-02

SJ/T 31108-1994 中，可能用到以下仪器设备

 

1200℃ 重型箱式炉

1200℃ 重型箱式炉

赛默飞实验室产品和服务

 

1500℃ 多功能箱式炉，带一体控制器

1500℃ 多功能箱式炉，带一体控制器

赛默飞实验室产品和服务

 

1500℃ 重型箱式炉，带独立控制器

1500℃ 重型箱式炉，带独立控制器

赛默飞实验室产品和服务

 

1700℃ 箱式炉，带独立控制器

1700℃ 箱式炉，带独立控制器

赛默飞实验室产品和服务

 

1700℃ 大型带一体控制器管式炉

1700℃ 大型带一体控制器管式炉

赛默飞实验室产品和服务

 

1500℃ 重型管式炉，带独立控制器

1500℃ 重型管式炉，带独立控制器

赛默飞实验室产品和服务

 

1500℃ 通用管式炉，带一体控制器

1500℃ 通用管式炉，带一体控制器

赛默飞实验室产品和服务

 

1700℃ 高温管式炉，带独立控制器

1700℃ 高温管式炉，带独立控制器

赛默飞实验室产品和服务

 

一体式马弗炉

一体式马弗炉

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

一体式马弗炉

一体式马弗炉

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

FJ-620型分子泵机组

FJ-620型分子泵机组

北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

放电等离子体烧结炉

放电等离子体烧结炉

QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

 

超高温高速退火炉

超高温高速退火炉

QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

 

连续退火实验与模拟系统

连续退火实验与模拟系统

QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

 

高压氧气氛退火炉

高压氧气氛退火炉

QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

 

CXF-250/2301型磁悬浮分子泵

CXF-250/2301型磁悬浮分子泵

北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

F-400/3500B 油润滑分子泵

F-400/3500B 油润滑分子泵

北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

高温电阻炉

高温电阻炉

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

高温实验炉

高温实验炉

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

高温箱式炉

高温箱式炉

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

实验炉

实验炉

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

高温马弗炉

高温马弗炉

北京中科科尔仪器有限公司

 

程控马弗炉

程控马弗炉

北京中科科尔仪器有限公司

 

紧凑型单点数字控制马弗炉

紧凑型单点数字控制马弗炉

北京中科科尔仪器有限公司

 

管式马弗炉

管式马弗炉

北京中科科尔仪器有限公司

 

防腐真空泵

防腐真空泵

北京中科科尔仪器有限公司

 

高容量真空压力泵

高容量真空压力泵

北京中科科尔仪器有限公司

 

小型真空/压力泵

小型真空/压力泵

北京中科科尔仪器有限公司

 

隔膜真空压力泵

隔膜真空压力泵

北京中科科尔仪器有限公司

 

再生式鼓风机

再生式鼓风机

北京中科科尔仪器有限公司

 

高温碳管炉

高温碳管炉

北京中科科尔仪器有限公司

 

磁悬浮系列分子泵

磁悬浮系列分子泵

沈阳科晶/KJ GROUP

 

1200℃立式真空小管式炉

1200℃立式真空小管式炉

沈阳科晶/KJ GROUP

 

莱伯泰科Milestone PYRO微波灰化/磺化系统（马弗炉）

莱伯泰科Milestone PYRO微波灰化/磺化系统（马弗炉）

北京莱伯泰科仪器股份有限公司

 

莱伯泰科Milestone PYRO SA微波灰化/磺化系统（马弗炉）

莱伯泰科Milestone PYRO SA微波灰化/磺化系统（马弗炉）

北京莱伯泰科仪器股份有限公司

 

莱伯泰科DP25/DP36/VP2C防腐隔膜真空泵

莱伯泰科DP25/DP36/VP2C防腐隔膜真空泵

北京莱伯泰科仪器股份有限公司

 

安捷伦 实验室单级旋片泵 MS120

安捷伦 实验室单级旋片泵 MS120

大昌华嘉科学仪器

 

安捷伦 双级旋片泵 DS 202

安捷伦 双级旋片泵 DS 202

大昌华嘉科学仪器

 

安捷伦 变频泵 TriScroll 600

安捷伦 变频泵 TriScroll 600

大昌华嘉科学仪器

 

安捷伦 变频泵 TriScroll 300

安捷伦 变频泵 TriScroll 300

大昌华嘉科学仪器

 

莱伯泰科Milestone PYRO XL微波灰化/磺化系统（马弗炉）

莱伯泰科Milestone PYRO XL微波灰化/磺化系统（马弗炉）

北京莱伯泰科仪器股份有限公司

 

VP18R/VP30/VP50系列真空泵

VP18R/VP30/VP50系列真空泵

北京莱伯泰科仪器股份有限公司

 

安捷伦 涡旋式干泵 TriScroll 600

安捷伦 涡旋式干泵 TriScroll 600

大昌华嘉科学仪器

 

安捷伦 实验室单级旋片泵 MS40+

安捷伦 实验室单级旋片泵 MS40+

大昌华嘉科学仪器

 

安捷伦 双级旋片泵 DS 40M

安捷伦 双级旋片泵 DS 40M

大昌华嘉科学仪器

 

莱伯泰科VP50真空泵

莱伯泰科VP50真空泵

北京莱伯泰科仪器股份有限公司

 

安捷伦 双级旋片泵 DS 602

安捷伦 双级旋片泵 DS 602

大昌华嘉科学仪器

 

莱伯泰科AE150静音罩

莱伯泰科AE150静音罩

北京莱伯泰科仪器股份有限公司

 

安捷伦 双级旋片泵 DS 102

安捷伦 双级旋片泵 DS 102

大昌华嘉科学仪器

 

安捷伦 双级旋片泵 DS 302

安捷伦 双级旋片泵 DS 302

大昌华嘉科学仪器

 

SJ/T 31108-1994
标准号
SJ/T 31108-1994
别名
SJT31108-1994
SJ31108-1994
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 31108-1994
 
 
本标准规定了CG-3000型单晶炉的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于半导体器件生产用单晶炉。

SJ/T 31108-1994相似标准

SJ/T 31109-1994 高压单晶炉完好要求和检查评定方法 SJ/T 31199-1994 L78450型焙烧炉完好要求和检查评定方法 SJ/T 31131-1994 4304型扩散炉完好要求和检查评定方法 SJ/T 31224-1994 氧化炉完好要求和检查评定方法 SJ/T 31171-1994 排气炉完好要求和检查评定方法

SJ/T 31108-1994 中可能用到的仪器设备

真空泵 马弗炉/电阻炉/实验炉


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号