完整的集成电路系统中包含多层结构,晶体管、绝缘层、布线层等等:搭建迷宫大厦一般的复杂集成电路,需要多层结构因此,在完成一层光刻流程之后,需要把这一阶段制作好的晶圆用绝缘膜覆盖,然后重新涂上光阻,烧制下一层电路结构:多次重复上述操作之后,芯片的多层结构搭建完毕(下图):如果上图看的不太明白,可以看看Intel的CPU芯片结构堆栈图:当然,我们可以通过高倍显微镜来观察光刻机“烧制”多层晶圆的堆叠情况:第四步...
将晶圆浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。 用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。 其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。 一片晶圆可以制作数十个集成电路,根据模版曝光机分为两种: 模版和晶圆大小一样,模版不动。 模版和集成电路大小一样,模版随曝光机聚焦部分移动。 ...
将晶圆浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。一片晶圆可以制作数十个集成电路,根据模版曝光机分为两种:模版和晶圆大小一样,模版不动。模版和集成电路大小一样,模版随曝光机聚焦部分移动。其中模版随曝光机移动的方式,模版相对曝光机中心位置不变,始终利用聚焦镜头中心部分能得到更高的精度。成为的主流。...
手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;光刻(photolithography)工艺是将掩膜版(光刻版)上的几何图形转移到晶圆表面的光刻胶上。首先光刻胶处理设备把光刻胶旋涂到晶圆表面,再经过分步重复曝光和显影处理之后,在晶圆上形成需要的图形。通常以一个制程所需要经过掩膜数量来表示这个制程的难易。...
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