GB/T 16523-1996
圆形石英玻璃光掩模基板规范
Specification for round quartz photomask substrates
GBT16523-1996, GB16523-1996
- 标准号
- GB/T 16523-1996
- 别名
- GBT16523-1996, GB16523-1996
- 发布
- 1996年
- 采用标准
- SEMI P4-1992 EQV
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16523-1996
- 适用范围
- 本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。 本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。
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