SJ 3118-1988
晶片承载器

Wafer holder

标准号

SJ 3118-1988

发布日期

1988年04月08日

实施日期

1988年12月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L34

国际标准分类号

31.020

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了晶片包装盒、传递片架和清洗片架的晶片承载器的品种、规格、尺寸和技术要求。 本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产过程中晶片的包装、传递和清洗用的晶片承载器。