SJ 3118-1988
晶片承载器

Wafer holder

标准号

SJ 3118-1988

发布

1988年

发布单位

行业标准-电子

当前最新

SJ 3118-1988

 

 

适用范围

本标准规定了晶片包装盒、传递片架和清洗片架的晶片承载器的品种、规格、尺寸和技术要求。 本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产过程中晶片的包装、传递和清洗用的晶片承载器。

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