SJ 2593-1985
高纯四氯化硅
Pure silicon tetrachloride
- 标准号
- SJ 2593-1985
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 2593-1985
- 适用范围
- 本标准适用于生长半导体器件及集成电路的硅外延片和生产光通讯器什川光纤予制件的四氯化硅。
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