SJ 2593-1985
高纯四氯化硅

Pure silicon tetrachloride

SJ 2593-1985 发布历史

本标准适用于生长半导体器件及集成电路的硅外延片和生产光通讯器什川光纤予制件的四氯化硅。

SJ 2593-1985由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 。

SJ 2593-1985 在中国标准分类中归属于: L90 电子技术专用材料，在国际标准分类中归属于: 31-030 电子技术专用材料。

SJ 2593-1985的历代版本如下：

•  SJ 2593-1985 高纯四氯化硅

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标准号

SJ 2593-1985

发布日期

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31-030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准适用于生长半导体器件及集成电路的硅外延片和生产光通讯器什川光纤予制件的四氯化硅。