SJ/T 31092-1994
晶片数控切割(划片)机完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for NC wafer cutting (scribing) machines

SJT31092-1994, SJ31092-1994


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SJ/T 31092-1994

标准号
SJ/T 31092-1994
别名
SJT31092-1994
SJ31092-1994
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 31092-1994
 
 
本标准规定了晶片数控切割(划片)机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于ESEC·8003型数控切割(划片)机,结构类似的其它型号数控切割(划片)机,亦可参照本标准有关条款执行。

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