SJ/Z 2926-1988
集成电路制版设备性能测试方法

Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs

标准号

SJ/Z 2926-1988

发布日期

1988年03月10日

实施日期

1988年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本指导性技术文件适用于自动刻(绘)图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设备主要性能测试方法。测试目的在于检查设备的技术性能指标是否达到原设计或使用要求。 本指导性技术文件未规定的性能测试方法，应在各类设备技术文件中另行规定。

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