SJ/Z 2926-1988
集成电路制版设备性能测试方法
Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs
- 标准号
- SJ/Z 2926-1988
- 发布
- 1988年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/Z 2926-1988
- 适用范围
- 本指导性技术文件适用于自动刻(绘)图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设备主要性能测试方法。测试目的在于检查设备的技术性能指标是否达到原设计或使用要求。 本指导性技术文件未规定的性能测试方法，应在各类设备技术文件中另行规定。