SJ/T 31116-1994
PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for PLA-501F photoetching machines
SJT31116-1994, SJ31116-1994
2010-02
- 标准号
- SJ/T 31116-1994
- 别名
- SJT31116-1994, SJ31116-1994
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31116-1994
- 适用范围
- 本标准规定了PLA-501F型光刻机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于PLA-501F型光刻机，其它类型光刻机，亦可参照执行。