SJ 2796-1987
电子级氧已作废

Electronic grade Oxygen

标准号

SJ 2796-1987

发布日期

1987年05月18日

实施日期

1988年10月01日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31-030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氧分为两级，代号为： 电子Ⅱ级氧代号为：DZO|(2)-Ⅱ； 电子l级氧代号为：DZO|(2)-I。

SJ 2796-1987 中可能用到的仪器设备