SJ 2758-1987
同型外延层厚度的红外干涉测试方法已作废

Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers

标准号

SJ 2758-1987

发布日期

1987年02月10日

实施日期

1987年07月01日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31-030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准适用子与衬底同型外延层厚度的测量，衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.02Ω·cm和大于0.1Ω·cm，可测厚度大于2μm.

SJ 2758-1987 中可能用到的仪器设备