SJ 2802-1987
电子级气体中痕量二氧化碳测定方法.氢焰转化色谱法
Method for determination of trace Carbon dioxide in electronic grade gases--Hydrogen flame ionzation detertor method
2010-02
- 标准号
- SJ 2802-1987
- 发布
- 1987年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 2802-1987
- 适用范围
- 本方法适用于电子级氢、氮、氩中痕量二氧化碳的测定，测定范围为0.05～16ppm
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