SJ 2807-1987
电子级体气中痕量氢的测定方法.气敏色谱法

Method for determination of trace Hydrogen in electronic grade gases--Gas-sensitization chromatographic method


标准号
SJ 2807-1987
发布日期
1987年05月18日
实施日期
1988年01月01日
废止日期
2010-02-25
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31-030
发布单位
CN-SJ
适用范围
 本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩和氦中痕量氢的测定,测定范围为0.0 5~37ppm。

SJ 2807-1987 中可能用到的仪器设备





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