SJ/T 10274-1991
掩模对准曝光机测试方法

Test methods of mask alignment and exposure system

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标准号
SJ/T 10274-1991
发布
1991年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 10274-1991
 
 
适用范围
本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。

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