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部分：薄膜材料弯曲试验方法》等重要的微结构测试方法，满足了MEMS制造过程中对其微结构进行考核的需求。...
微流控技术是MEMS技术在流体处理方面的一个重要分支，由于这一技术是生物芯片的基石，2003年被福布斯（Forbes）杂志评为影响人类未来15件最重要的发明之一。 微流控技术的起源微型化、集成化和智能化，是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统（MEMS）技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物”演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。...
【研究背景】硅材料是最重要的半导体材料之一，具有出色的光学、电学特性。在过去数十年里，单晶硅材料的发展促进了半导体产业的繁荣和现代社会的发展。例如，硅晶片的大规模生产促进了太阳能电池的发展，现已成为清洁能源领域的最主要产品。通过微加工技术进行图案化的单晶硅是集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）的基础，这些技术已将世界带入了信息化和智能化的时代。...
试验证明，开孔钛基微针的FEA模拟与机械测试结果非常一致，表明未来微针设计还存在优化空间。对这款开孔钛基微针的轴向压力显示器件没有破裂或破碎，表明相对于由硅或玻璃制造的其他器件，钛基微针可以提供更安全的眼部药物输送。定制的微针涂覆设备和微针涂覆过程：a）涂覆前；b）微针涂覆中；c）撤回微针，完成涂覆涂层评估发现，相对于具有相同尺寸的实心微针几何形状，开孔微针能够将药物负载能力提高5倍。...
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