GB/T 34899-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
GBT34899-2017, GB34899-2017
- 标准号
- GB/T 34899-2017
- 别名
- GBT34899-2017, GB34899-2017
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 34899-2017
- 引用标准
- GB/T 2421.1 GB/T 25915.1 GB/T 26111
- 适用范围
- 本标准规定了使用拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力和相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力和相对动态应力的拉曼光谱法测试。
专题
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