由于物镜球差及其聚焦误差等原因，很难精确地从小于0.5μm的区域中得到衍射。随着扫描透射电子显微术（STEM）的发展，采用强烈聚焦的细小电子束照射样品上极其有限的区域，与视场光阑的方法相比，不但选区尺寸小，而且精度高。这就是所谓微衍射（选区小于100nm）和微微衍射（选区小于10nm），也有人把它们分别叫做μ衍射和μμ衍射。...
5)利用俄歇电子，对样品物质表面1nm表层进行化学元素分布的定性定理分析。 3、在半导体器件（IC)研究中的特殊应用： 1）利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究 2）利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。 ...
3、在半导体器件（IC)研究中的特殊应用： 1）利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究 2）利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。 ...
在新型微纳器件研发制造领域，如半导体器件MEMS、激光器芯片、量子芯片等，电子显微镜也是辅助人们进行微纳结构设计、解剖、性能优化和量产良率提升的关键手段。04聚焦显微分析技术领域 找准“中国芯”对策4nm制程晶圆级TEM分析图国家正大力攻关集成电路领域，着力解决高端芯片 “卡脖子”问题，加快自主创新步伐。...
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